प्लाज्मा प्रोसेसर प्लाज्मा प्रोसेसिंग के लिए इस्तेमाल कीन जाय वाला उपकरण होय। यहिके संरचना मा निम्नलिखित मुख्य घटक होत है:
डिस्चार्ज कक्ष: डिस्चार्ज कक्ष एक प्लाज्मा प्रोसेसर का मूल घटक है। यहिमा गैस कै डिस्चार्ज पैदा करै खातिर उच्च एसी वोल्टेज या रेडियो आवृत्ति विद्युत क्षेत्र कै इस्तेमाल कीन जात है, जेहिसे प्लाज्मा बनत है। डिस्चार्ज कक्ष आम तौर पर इन्सुलेट सामग्री जइसे कि सिरेमिक या कांच से बना होत है।
कामकाजी कक्ष: कामकाजी कक्ष भौतिक प्रसंस्करण के लिए प्राथमिक स्थान है। अलग-अलग गैस, दबाव, और पावर पैरामीटर को नियंत्रित करके अलग-अलग प्रसंस्करण प्रभाव हासिल किए जात हैं। कामकाजी कक्ष आमतौर पर अच्छे वैक्यूम सीलिंग गुण वाले सामग्री से बना होत है, जइसे कि धातु या सिरेमिक।
निकासी प्रणाली: वैक्यूम सिस्टम का उपयोग काम करै वाले कक्ष से गैस निकालै के लिए कीन जात है ताकि प्रसंस्करण के दौरान वैक्यूम वातावरण बनावा जाय। वैक्यूम सिस्टम मा आम तौर पै वैक्यूम पंप अउर संबंधित नियंत्रण प्रणाली होत है।
हाई - आवृत्ति बिजली आपूर्ति: उच्च {{1} आवृत्ति बिजली आपूर्ति प्लाज्मा प्रोसेसर को ऊर्जा प्रदान करत है, गैस आयनीकरण करत है ताकि उ उच्च {{2} आवृत्ति विद्युत क्षेत्र के माध्यम से प्लाज्मा बन सके। उच्च {{4} आवृत्ति बिजली आपूर्ति आमतौर पर इलेक्ट्रॉनिक घटक और संबंधित नियंत्रण प्रणाली होत है।
ऑटोमैटिक कंट्रोल सिस्टम: ऑटोमैटिक कंट्रोल सिस्टम पूरी प्लाज्मा प्रसंस्करण प्रक्रिया का नियंत्रित करत है, जेहिमा पैरामीटर सेटिंग, प्रसंस्करण समय नियंत्रण, अउर वैक्यूम स्तर के मॉनिटरिंग शामिल है। ऑटोमैटिक कंट्रोल सिस्टम मा आम तौर पै कम्प्यूटर औ संबंधित नियंत्रण सॉफ्टवेयर होत है।
इसके अलावा, प्लाज्मा प्रोसेसर एक गैस आपूर्ति प्रणाली से लैस है ताकि डिस्चार्ज कक्ष म आवश्यक गैस आपूर्ति कीन जा सके। यहि प्रणाली मा आम तौर पै गैस सिलेंडर, एक दबाव नियामक, एक प्रवाह नियंत्रक, अउर दूसर घटक होत है।
सारांश म, प्लाज्मा प्रोसेसर के संरचना म डिस्चार्ज कक्ष, एक कामकाजी कक्ष, एक वैक्यूम सिस्टम, एक उच्च - आवृत्ति बिजली आपूर्ति, अउर एक स्वचालित नियंत्रण प्रणाली शामिल है। इन घटकन का समन्वित संचालन प्लाज्मा प्रोसेसर का भौतिक सतह पर विभिन्न भौतिक अउर रासायनिक प्रतिक्रिया का प्रेरित करै मा सक्षम बनावत है, जेहिसे वांछित उपचार हासिल कीन जात है।